本文從批量生產(chǎn)制作稱(chēng)重傳感器的現(xiàn)場(chǎng)工藝出發(fā)，總結(jié)了與稱(chēng)重傳感器實(shí) 際生產(chǎn)密切相關(guān)的蠕變誤差知識(shí)、蠕變誤差的影響因素及在現(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)實(shí)踐中的一些蠕變調(diào)整工藝。

一、概述

稱(chēng)重傳感器的蠕變性能歷來(lái)都是稱(chēng)重傳感器 各使用單位及國(guó)內(nèi)外客戶(hù)最關(guān)心的指標(biāo)之一，稱(chēng) 重傳感器蠕變性能的好壞及長(zhǎng)期穩(wěn)定可靠性也會(huì) 直接影響到其使用單位的正常使用和應(yīng)用領(lǐng)域的 推廣，對(duì)于稱(chēng)重傳感器的生產(chǎn)制造廠(chǎng)家而言，稱(chēng) 重傳感器的蠕變誤差的控制水平不僅是衡量一個(gè) 產(chǎn)品綜合精度和穩(wěn)定可靠性的重要指標(biāo)，也是衡 量一個(gè)企業(yè)的制造工藝水平及產(chǎn)品質(zhì)量高低的重 要體現(xiàn)。

二、稱(chēng)重傳感器蠕變的理解

稱(chēng)重傳感器的蠕變，是指?jìng)鞲衅髟诤愣ǖ沫h(huán) 境中（如溫度、濕度等）和其它可變化量保持不 變（如力產(chǎn)生系統(tǒng)穩(wěn)定性、加載和裝夾條件等）， 當(dāng)傳感器快速施加恒定載荷和快速卸掉恒定載荷 后的一段時(shí)間內(nèi)，其輸出的電信號(hào)隨時(shí)間的延續(xù) 而變化的特性。一般常見(jiàn)的蠕變特性有兩種：一 種為正蠕變，一種為負(fù)蠕變，如圖1和2所示： 傳感器的輸出信號(hào)隨著時(shí)間的延續(xù)而增加，最后 趨于穩(wěn)定的過(guò)程為正蠕變特性曲線(xiàn)；輸出信號(hào)隨 著時(shí)間的延續(xù)而減小，最后趨于穩(wěn)定的過(guò)程為負(fù) 蠕變特性曲線(xiàn)。

依據(jù)我國(guó)稱(chēng)重傳感器法制計(jì)量器具控制管理 的要求，等效采用OIML R60國(guó)際建議(2000)，對(duì)稱(chēng)重傳感器蠕變的檢定均有嚴(yán)格明確的規(guī)定：

1.衡量稱(chēng)重傳感器的蠕變誤差，實(shí)際要考核 蠕變誤差和蠕變恢復(fù)誤差這兩項(xiàng)指標(biāo)，兩者必須 同等考核.

2.稱(chēng)重傳感器的蠕變誤差可以為正，也可以為 負(fù)，即綜合測(cè)評(píng)時(shí)，不論是正蠕變，還是負(fù)蠕變， 只以蠕變的變化量來(lái)評(píng)價(jià)，與變化的正負(fù)基本無(wú)關(guān)。

3.在OIML R60國(guó)際建議(2000)中，關(guān)于稱(chēng)重傳 感器的蠕變誤差和蠕變恢復(fù)誤差，明確規(guī)定如下。

3.1蠕變誤差：傳感器在額定載荷下，在 0?30min的時(shí)間段，蠕變的允許誤差不超過(guò)

0.7mpe；在20min?30min的時(shí)間段，蠕變的允 許誤差不超過(guò)0.15mpe，現(xiàn)以我們常見(jiàn)傳感器的 幾種靈敏度，通過(guò)C2級(jí)和C3級(jí)分別以表1說(shuō) 明（注：表中的蠕變?cè)试S誤差的量值均包含正負(fù) 偏差）.

3.2蠕變恢復(fù)誤差：傳感器在0?30min的額定載荷下，最小靜載荷輸出恢復(fù)值允許誤差應(yīng)不超過(guò)0.5v。如表2所示。

綜合上面列表可以說(shuō)明：傳感器的蠕變檢定在采用新國(guó)標(biāo)時(shí)，不同的輸出靈敏度，不同的精度等 級(jí)要求，允許的蠕變誤差和蠕變恢復(fù)誤差在規(guī)定的 時(shí)間內(nèi)均有所不同。所以，必須認(rèn)識(shí)和區(qū)分好。

三、實(shí)際現(xiàn)場(chǎng)作業(yè)中，影響稱(chēng)重傳感器蠕變誤差的因素及調(diào)整工藝

1.彈性體材料和加工質(zhì)量是影響傳感器蠕變 誤差的主要原因之一

1.1由于目前傳感器的彈性體的材料主要為 合金鋼、不銹鋼及鋁合金三大類(lèi)，而金屬類(lèi)彈性 體都會(huì)存在彈性后效的現(xiàn)象，而彈性后效現(xiàn)象是 指在彈性范圍內(nèi)，當(dāng)負(fù)荷加上后，彈性元件發(fā)生 變形，但不是立即達(dá)到與載荷平衡，而是略有后 延，當(dāng)載荷卸去后，其彈性元件發(fā)生變形恢復(fù)， 但也不是立即恢復(fù)到零，而是需要經(jīng)過(guò)一段時(shí)間， 但最終趨于穩(wěn)定狀態(tài)，故彈性后效就表現(xiàn)出傳感 器的輸出信號(hào)隨時(shí)間延續(xù)而增加的現(xiàn)象，即前面 所講的正蠕變特性。

1.2綜合上述，對(duì)彈性體材料要求是：彈性 極限和彈性模量要高，彈性體的材質(zhì)要純凈、均 勻并有穩(wěn)定的金相組織，硬度在HRC39?42之間 為宜。所以，在選擇彈性體原材料的供應(yīng)廠(chǎng)家和 彈性體熱處理、加工制造廠(chǎng)家時(shí)，必須有一套切 合實(shí)際的評(píng)估機(jī)制。如傳感器制造廠(chǎng)家特別要注 意彈性體的材料硬度大小和硬度均勻性的質(zhì)量檢 測(cè)。否則，在傳感器其它生產(chǎn)工藝不變的情況下， 若彈性體材料硬度太大，呈現(xiàn)蠕變超差和蠕變恢 復(fù)慢的幾率就越大。又如，傳感器的彈性體在實(shí) 際生產(chǎn)中采用40&的材料時(shí)，則更應(yīng)引起足夠重 視，由于40Cr材料的低淬透性和易產(chǎn)生第二類(lèi)回 火脆性，極易導(dǎo)致因熱處理不當(dāng)造成硬度超差及 分散性大，這對(duì)傳感器蠕變的批量調(diào)整和控制是 諸多不利的，將嚴(yán)重影響到批次合格率和產(chǎn)品質(zhì) 量。所以，只有從彈性體材料和加工質(zhì)量的源頭 抓起，才是解決問(wèn)題的關(guān)鍵。

1.3在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，生產(chǎn)廠(chǎng)家會(huì)出現(xiàn)因 傳感器輸出靈敏度偏小而將彈性體應(yīng)變梁部位進(jìn) 行削薄、扎孔或擴(kuò)孔等應(yīng)急機(jī)械加工處理，雖然 輸出靈敏度得到了適時(shí)的修正，但同時(shí)，如果機(jī) 械加工進(jìn)刀量過(guò)大，會(huì)使彈性體貼片表面原有的 恒彈性狀態(tài)受到影響，若加工之后又無(wú)一定的時(shí) 間及處理工藝來(lái)消除或減少殘余應(yīng)力的影響，出 現(xiàn)正蠕變誤差超差的幾率也會(huì)增大，最嚴(yán)重的會(huì) 使蠕變指標(biāo)由處理前的0.02% FS/30min變大到 0.2%FS/30min。我們認(rèn)為，解決此問(wèn)題的長(zhǎng)久措施 是在彈性體批量生產(chǎn)前，為盡量杜絕或減少?gòu)椥?/span> 體的機(jī)械加工應(yīng)急處理，就應(yīng)該已通過(guò)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和工藝實(shí)驗(yàn)確定了傳感器輸出靈敏度的范圍是符合要 求的。對(duì)于高精度傳感器而言，若已經(jīng)過(guò)削薄、扎 孔或擴(kuò)孔等應(yīng)急機(jī)械處理的，其原有已定型的應(yīng)變 計(jì)匹配工藝可能需要適時(shí)修改，唯有通過(guò)試驗(yàn)重新 確定應(yīng)變計(jì)的匹配工藝，方能得到改善。

2.現(xiàn)場(chǎng)工藝中，應(yīng)掌握應(yīng)變計(jì)蠕變標(biāo)號(hào)及選 配工藝對(duì)傳感器蠕變誤差的影響

2.1 一般來(lái)說(shuō)，若選擇應(yīng)變計(jì)的負(fù)蠕變與彈 性體的正蠕變誤差絕對(duì)值相等或相當(dāng)接近時(shí)，則 傳感器的綜合蠕變就可以補(bǔ)償?shù)綐O小，而對(duì)于某 一種型號(hào)規(guī)格的傳感器，通過(guò)試驗(yàn)都可以找到與 蠕變值相匹配的應(yīng)變計(jì)。通過(guò)精調(diào)不同蠕變標(biāo)號(hào) 的應(yīng)變計(jì)，傳感器的綜合蠕變誤差可以達(dá)到 OIML R60國(guó)際建議(2000)中C3甚至以上標(biāo)準(zhǔn)。由于不同應(yīng)變計(jì)生產(chǎn)廠(chǎng)家的應(yīng)變計(jì)蠕變標(biāo)號(hào)命名規(guī) 則會(huì)有所不同，同一傳感器在采用不同廠(chǎng)家的蠕 變標(biāo)號(hào)，實(shí)測(cè)的蠕變值也會(huì)是不盡相同的。用戶(hù) 在選擇應(yīng)變計(jì)的蠕變標(biāo)號(hào)時(shí)，一般只要依據(jù)應(yīng)變 計(jì)生產(chǎn)廠(chǎng)家推薦的傳感器的量程與蠕變標(biāo)號(hào)的匹 配工藝，同時(shí)根據(jù)傳感器的彈性體材料、結(jié)構(gòu)、 量程以及內(nèi)部的生產(chǎn)工藝等實(shí)際情況，再結(jié)合用 戶(hù)自己的試驗(yàn)考核，是可以找到與要求型號(hào)量程 傳感器相匹配的應(yīng)變計(jì)的。我們建議：首次使用 時(shí)，可選用1?2種不同蠕變標(biāo)號(hào)的應(yīng)變計(jì)進(jìn)行試 驗(yàn)，根據(jù)實(shí)測(cè)蠕變數(shù)據(jù)的大小和方向，確定最佳 的蠕變標(biāo)號(hào)，現(xiàn)以東莞華蘭海公司的應(yīng)變計(jì)產(chǎn)品 為例，一般常用應(yīng)變計(jì)的蠕變標(biāo)號(hào)排列示意如圖3 所示。

如圖3所示，N3?T5指的是應(yīng)變計(jì)的蠕變 標(biāo)號(hào)，其中N3是可使蠕變最正的蠕變標(biāo)號(hào)，T5 是可使蠕變最負(fù)的蠕變標(biāo)號(hào)，每?jī)蓚€(gè)相臨蠕變標(biāo) 號(hào)之間的蠕變調(diào)整值一般相差在0.01?0.015% FS/30min。為便于理解，如圖示，若設(shè)定某一型號(hào) 規(guī)格的傳感器采用蠕變標(biāo)號(hào)為T0的蠕變值為0， 于是，因應(yīng)變計(jì)的蠕變標(biāo)號(hào)選取的不同，每一種 蠕變標(biāo)號(hào)的應(yīng)變計(jì)產(chǎn)生的相對(duì)蠕變補(bǔ)償量會(huì)正向 變化，或負(fù)向變化（如圖中各對(duì)應(yīng)的陰影區(qū)域簡(jiǎn) 要說(shuō)明）;再舉例說(shuō)明：若同一型號(hào)量程傳感器采 用蠕變標(biāo)號(hào)為N2的應(yīng)變計(jì)，試制后蠕變出現(xiàn)負(fù)偏 差(比如-0.050%FS/30min)，應(yīng)采取調(diào)整排在N2前面的蠕變標(biāo)號(hào)（如N2、N4、N6依次類(lèi)推的應(yīng) 變計(jì)，是可以調(diào)整到± 0.020%FS/30min的；反之， 若試制后蠕變出現(xiàn)正偏差(比如0.050%FS/30min)， 應(yīng)調(diào)整試驗(yàn)排在N2后面的蠕變標(biāo)號(hào)（如T0、T2、 T4依次類(lèi)推的應(yīng)變計(jì)，是可以調(diào)整到± 0.020% FS/30min 的。

2.2現(xiàn)以我們以常見(jiàn)的計(jì)價(jià)秤用雙連孔平行 梁鋁件傳感器為例，若采用東莞華蘭海公司生產(chǎn) 的BF350-3AA(23)單軸系列應(yīng)變計(jì)產(chǎn)品，通過(guò)長(zhǎng)期 批量生產(chǎn)驗(yàn)證，用表3來(lái)簡(jiǎn)要說(shuō)明稱(chēng)重傳感器的 量程與應(yīng)變計(jì)的蠕變標(biāo)號(hào)的相互匹配關(guān)系.

結(jié)合表3，可以說(shuō)明同一型號(hào)不同量程的傳感器都有與相匹配的應(yīng)變計(jì)的蠕變標(biāo)號(hào)，兩者之間 是一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系，還可以說(shuō)明同一型號(hào)的傳感 器，量程越小的應(yīng)選用蠕變補(bǔ)償量相對(duì)越負(fù)的應(yīng) 變計(jì)，量程越大的應(yīng)選用蠕變補(bǔ)償量相對(duì)越正的 應(yīng)變計(jì)。同理，當(dāng)同一量程的傳感器做不同的輸 出靈敏度，比如1mV/V和2mV/V兩種輸出靈敏 度，應(yīng)變計(jì)的蠕變標(biāo)號(hào)也需要工藝試驗(yàn)來(lái)重新調(diào) 整，實(shí)際同一量程的傳感器，輸出為1mV/V米用 的蠕變標(biāo)號(hào)應(yīng)比 2mV/V 的要正一些。

2.3在實(shí)際工藝定型實(shí)驗(yàn)中，還會(huì)碰到如下 問(wèn)題：某一型號(hào)規(guī)格的傳感器在進(jìn)行蠕變標(biāo)號(hào)定 型試驗(yàn)時(shí)，比如在分別試驗(yàn)相鄰兩種蠕變標(biāo)號(hào)的 應(yīng)變計(jì)時(shí)，其中一種蠕變標(biāo)號(hào)的應(yīng)變計(jì)會(huì)出現(xiàn)相 對(duì)正蠕變誤差太大，而另一種蠕變標(biāo)號(hào)的應(yīng)變計(jì) 會(huì)出現(xiàn)相對(duì)負(fù)蠕變誤差太大，找不到一個(gè)最佳蠕 變標(biāo)號(hào)的應(yīng)變計(jì)能夠?qū)⑷渥冋`差調(diào)整到所需要的 范圍。而有效的調(diào)整辦法就是米用兩種蠕變標(biāo)號(hào) 的應(yīng)變計(jì)進(jìn)行綜合蠕變補(bǔ)償，即在同一個(gè)傳感器 上，將其中蠕變值為正蠕變的應(yīng)變計(jì)與蠕變值為 負(fù)蠕變的應(yīng)變計(jì)選配好，按電橋互補(bǔ)原理對(duì)稱(chēng)粘貼（如圖4所示，最終通過(guò)兩種蠕變標(biāo)號(hào)應(yīng)變 計(jì)的相對(duì)正負(fù)蠕變量的抵消，其抵消后的余量再 與彈性體的蠕變進(jìn)行最終匹配。但前提要求是這 兩種蠕變標(biāo)號(hào)的應(yīng)變計(jì)的類(lèi)別、基底材料、標(biāo)稱(chēng) 電阻、應(yīng)變計(jì)柵長(zhǎng)、敏感柵結(jié)構(gòu)形式、材料線(xiàn)膨脹系數(shù)、有無(wú)覆蓋層等應(yīng)是相同的。

圖4中Y1、Y2、Y3、Y4均為電阻應(yīng)變計(jì)， 其中Y1、Y2為同一組蠕變中字號(hào)應(yīng)變計(jì)，Y3、 Y4為同一蠕變大字號(hào)應(yīng)變計(jì).

結(jié)合上述，在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，還會(huì)碰到這 樣的問(wèn)題：比如本來(lái)已經(jīng)對(duì)某一型號(hào)規(guī)格的傳感 器的應(yīng)變計(jì)工藝定型了，但出現(xiàn)因已定型號(hào)應(yīng)變 計(jì)的供貨不及時(shí)等其它原因，導(dǎo)致生產(chǎn)受阻或拖 延時(shí)間太長(zhǎng)而無(wú)法按質(zhì)按量完成預(yù)訂的生產(chǎn)計(jì)劃。 這時(shí)也可以采取兩種蠕變標(biāo)號(hào)應(yīng)變計(jì)的應(yīng)急辦法。 如圖5所示，如要找到與蠕變標(biāo)號(hào)T0的蠕變值 相近的另外兩種應(yīng)變計(jì)，圖中與T0左右相臨的幾 組蠕變標(biāo)號(hào)都可與之匹配，圖中的連線(xiàn)可以表示 為可通過(guò)多種匹配方案來(lái)等效采用，建議采用蠕 變標(biāo)號(hào)逼近的原則，最優(yōu)先采用與T0左右相臨最 接近的那組，依次類(lèi)推，并結(jié)合試驗(yàn)實(shí)施調(diào)整， 最終是可以應(yīng)急解決的。

2.4同一結(jié)構(gòu)類(lèi)型的傳感器，采用不同的彈性體材料，其匹配的應(yīng)變計(jì)蠕變標(biāo)號(hào)也不盡相同。 如一般小地磅常用單剪切懸臂梁鋼件傳感器，采 用40CrNIMoA合金鋼和17- 4不銹鋼，所采用的應(yīng) 變計(jì)蠕變標(biāo)號(hào)實(shí)際是不同的，實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中， 17-4不銹鋼所采用的應(yīng)變計(jì)蠕變標(biāo)號(hào)都應(yīng)比 40CrNiMoA合金鋼的正1?2個(gè)標(biāo)號(hào)等級(jí)。

2.5對(duì)于同一規(guī)格型號(hào)的傳感器，當(dāng)應(yīng)變計(jì) 的敏感柵材料不同時(shí)，其匹配的應(yīng)變計(jì)蠕變標(biāo)號(hào) 也不盡相同，一般要求350Q輸出阻抗的傳感器， 常采用康銅合金敏感柵的應(yīng)變計(jì)；要求1KQ甚至 更大輸出阻抗的傳感器，采用伊文或卡碼合金敏 感柵的應(yīng)變計(jì)。若以單剪切懸臂梁鋼件傳感器為 例，實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，采用進(jìn)口伊文合金敏感柵 的應(yīng)變計(jì)的蠕變標(biāo)號(hào)都應(yīng)比采用進(jìn)口康銅合金敏 感柵的應(yīng)變計(jì)的正2?3個(gè)標(biāo)號(hào)等級(jí)甚至以上；而 若以我們常見(jiàn)的計(jì)價(jià)秤用雙連孔平行梁鋁件傳感 器為例，采用進(jìn)口伊文合金敏感柵的應(yīng)變計(jì)的蠕 變標(biāo)號(hào)都應(yīng)比采用進(jìn)口康銅合金敏感柵的應(yīng)變計(jì) 的負(fù)1?2個(gè)標(biāo)號(hào)等級(jí)。

2.6在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，還會(huì)碰到批量負(fù)蠕 變超差的問(wèn)題。

2.6.1眾所周知，傳感器負(fù)蠕變的主要原因 在于應(yīng)變計(jì)本身的質(zhì)量、貼片膠質(zhì)量及應(yīng)變計(jì)粘 貼質(zhì)量，而應(yīng)變計(jì)本身的蠕變與基底、基底膠的 彈性膜量和厚度及構(gòu)件的變形大小等有關(guān)，若基 底厚度大，彈性膜量小，構(gòu)件變形大，則應(yīng)變計(jì) 的蠕變會(huì)變大。所以，改善上述問(wèn)題仍是解決負(fù) 蠕變超差的首要前提之一。

2.6.2在OIML R60國(guó)際建議(2000)中，明確 規(guī)定：稱(chēng)重傳感器的蠕變誤差和蠕變恢復(fù)誤差， 必須在20°C、40°C、-10°C和20°C四個(gè)溫度段依 次通過(guò)合格測(cè)試評(píng)價(jià)才行。試驗(yàn)證明：在高低溫 蠕變測(cè)試評(píng)價(jià)中，關(guān)鍵是在確保傳感器的常溫蠕 變是真正合格的基礎(chǔ)上，重點(diǎn)做好傳感器的密封 性能。我們認(rèn)為，這主要在常溫和濕熱兩種條件 下，通過(guò)檢查傳感器的絕緣電阻的好壞及長(zhǎng)久穩(wěn) 定性來(lái)實(shí)證。尤其在制作鋁制傳感器過(guò)程中，若 不注意防護(hù)和密封，即使常溫合格的傳感器，也 難以保證在其它溫度段能合格。另外，應(yīng)變計(jì)的 基底質(zhì)量不過(guò)關(guān)和焊點(diǎn)焊接工藝不當(dāng)造成的應(yīng)變 計(jì)絕緣擊穿，也極易導(dǎo)致測(cè)試蠕變時(shí)輸出漂移。 若將密封不良的傳感器，在40°C、90%RH環(huán)境中 保持12小時(shí)后進(jìn)行蠕變測(cè)試的，會(huì)出現(xiàn)傳感器的 輸出隨著時(shí)間的延續(xù)往負(fù)方向漂移，且很難短時(shí) 間內(nèi)穩(wěn)定，最終造成負(fù)蠕變超差。這一般是由于 硅膠的固化機(jī)理及應(yīng)變片及貼片膠區(qū)域等物質(zhì)的 熱脹冷縮，在傳感器加載后，因膠的變形而吸潮 膨脹或松弛，使彈性體應(yīng)變的能力開(kāi)始降低了。 這時(shí)若檢查濕熱下的絕緣電阻可能已只有幾百兆， 甚至更低，而重新?lián)Q線(xiàn)組橋負(fù)蠕變?nèi)詿o(wú)改善。所 以必須引起重視。

2.7對(duì)于雙連孔平行梁傳感器，尤其是鋁制 傳感器，其兩個(gè)應(yīng)變孔之間的中心距離的長(zhǎng)短與 蠕變性能有密切的關(guān)系。一般來(lái)說(shuō)，以同一量程 為例，應(yīng)變孔之間的距離越短，則傳感器的蠕變 誤差相對(duì)越正，所采用的應(yīng)變計(jì)的蠕變標(biāo)號(hào)相對(duì) 要越負(fù)，才可將蠕變誤差調(diào)整到最佳；反之，應(yīng) 變孔之間的中心距離越長(zhǎng)，傳感器的蠕變誤差相 對(duì)越負(fù)，所采用的應(yīng)變計(jì)的蠕變標(biāo)號(hào)相對(duì)要越正， 才可將蠕變誤差調(diào)整到最佳。

2.8鋼件傳感器的焊接密封對(duì)蠕變也有一定 的影響。以懸臂梁鋼件傳感器為例，在貼片工藝 等不變的情況下，采用凹形膜片焊接的蠕變相比 普通的硅膠密封就要正一些，尤其是量程越低， 影響越明顯。所以在批量生產(chǎn)前也需進(jìn)行必要的 試制工作，通過(guò)試驗(yàn)分析出焊接前后對(duì)蠕變的相 關(guān)影響量，若影響量明顯，且呈規(guī)律性，則應(yīng)考 慮事先將所貼應(yīng)變計(jì)的蠕變標(biāo)號(hào)稍調(diào)負(fù)一個(gè)量級(jí)， 用以抵消焊接后正蠕變的影響。不同的膜片厚度 和深度也有不同的影響量，故蠕變性能的評(píng)定不 宜在焊接前，而應(yīng)在焊接之后進(jìn)行試驗(yàn)確認(rèn)，有 時(shí)需要多次驗(yàn)證，這對(duì)大批量控制焊接密封類(lèi)傳 感器的蠕變性能也是較重要的。

3.關(guān)于測(cè)試設(shè)備、測(cè)量方法對(duì)傳感器的蠕變 測(cè)量誤差的影響。

3.1依據(jù)OIML R60國(guó)際建議(2000)的要求， 測(cè)試傳感器蠕變的設(shè)備也應(yīng)著重考慮。 對(duì)于高精 度傳感器而言，必須要求測(cè)力機(jī)能實(shí)現(xiàn)較快速度 的加/卸載，以滿(mǎn)足OIML R60國(guó)際建議(2000)中 蠕變測(cè)試對(duì)加載條件、加載/卸載時(shí)間及讀數(shù)的規(guī) 定，而一般的大量程測(cè)力機(jī)，如果未對(duì)加/卸載速 度進(jìn)行穩(wěn)定加速方面的改造，會(huì)使本來(lái)蠕變超差 的傳感器，由于測(cè)力機(jī)的加/卸載時(shí)間的延長(zhǎng)后， 指標(biāo)明顯要變好許多，特別是使蠕變恢復(fù)誤差的 “變好”的假象更突出，這種測(cè)試和評(píng)定蠕變的做 法是不合理的，另外，按照中國(guó)北京計(jì)量院測(cè)力 室專(zhuān)家給我們的指導(dǎo)意見(jiàn)：只有盡量縮小測(cè)力機(jī) 的加/卸載所發(fā)生的時(shí)間，并使穩(wěn)定讀數(shù)所需的時(shí) 間占整個(gè)規(guī)定時(shí)間的1/2或以上，這樣在做蠕變?cè)?/span> 驗(yàn)時(shí)，才可使傳感器在讀數(shù)前產(chǎn)生充分的變形,從而降低蠕變指標(biāo)容易超差的可能。

3.2在生產(chǎn)過(guò)程中，我們認(rèn)為：對(duì)于測(cè)試傳 感器的蠕變，應(yīng)注意兩點(diǎn)：即當(dāng)日初測(cè)蠕變，次 日復(fù)測(cè)蠕變?，F(xiàn)以懸臂梁鋼件500Kg量程，輸出 3mV/V的傳感器為例，說(shuō)明其實(shí)際意義。在傳感 器經(jīng)過(guò)焊接膜片及超載預(yù)壓工序后，我們依次進(jìn) 行當(dāng)日初測(cè)蠕變和次日復(fù)測(cè)蠕變，其數(shù)據(jù)如表4所 示.

從表4可以看出，次日復(fù)測(cè)的蠕變和蠕變恢 復(fù)數(shù)據(jù)和當(dāng)日初測(cè)的數(shù)據(jù)有明顯的不同。我們認(rèn) 為，當(dāng)日初測(cè)蠕變的目的是為了更真實(shí)準(zhǔn)確的復(fù) 測(cè)蠕變指標(biāo)，真正意義上的測(cè)試和評(píng)定只能以復(fù) 測(cè)蠕變的數(shù)據(jù)作為參考依據(jù)，所以在批量生產(chǎn)前， 應(yīng)事先就將其作為測(cè)評(píng)和調(diào)整工藝的考慮因素之 一，對(duì)于不同的傳感器，應(yīng)同樣分析比較這些數(shù) 據(jù)的規(guī)律性及變化方向，才有可能更好的確定傳 感器蠕變的真實(shí)指標(biāo)，否則容易形成誤判，特別 是對(duì)于高精度傳感器來(lái)說(shuō)，在測(cè)試時(shí)應(yīng)予以重視。 需要說(shuō)明的一點(diǎn)是，這里所說(shuō)的復(fù)測(cè)不單是指一 次，有時(shí)應(yīng)該是多次去復(fù)測(cè)，才能達(dá)到準(zhǔn)確測(cè)量 的目的。

4.重提一下對(duì)影響稱(chēng)重傳感器蠕變誤差的一 些實(shí)際因素

(1)傳感器的貼片工藝及工藝執(zhí)行力。如： 貼片室的溫濕度控制及清潔程度；貼片膠的流動(dòng) 性、密封性、存放條件、保質(zhì)期、使用頻率；彈 性體特別是貼片位置的干燥干凈程度、光潔度； 刷膠的厚度；晾膠時(shí)間；擠膠的力度與均勻性； 覆蓋膜的厚度、形狀及大小等。

(2）傳感器的加壓固化工藝及工藝執(zhí)行力。 如硅橡膠皮的質(zhì)量；硅橡膠皮的厚度、裁剪尺寸、 干燥干凈程度；合理的加壓夾具；加壓壓力的大 ?。还袒嫦鋬?nèi)夾具之間的相互間隔及數(shù)量；烘 箱的升溫速度；固化溫度和時(shí)間等。

（3）傳感器的組橋工藝及工藝執(zhí)行力。 重點(diǎn) 是焊點(diǎn)的質(zhì)量和整個(gè)工序的清洗質(zhì)量；其次是連 線(xiàn)端子或接線(xiàn)板的設(shè)計(jì)及安裝位置；漆包線(xiàn)的松 緊等.

(4）傳感器的密封工藝及工藝執(zhí)行力。如密 封膠的成份、軟硬度、涂覆厚度、粘接力、使用 溫度；涂膠工序的溫濕度控制及清潔程度等。

(5）測(cè)試環(huán)境和條件（包括恒定的溫度、振 動(dòng)因素、合理的測(cè)試工裝、穩(wěn)定和高精度的顯示 儀表、接線(xiàn)夾子的可靠性）等

(6）傳感器應(yīng)變梁結(jié)構(gòu)及尺寸的影響。

(7）應(yīng)變計(jì)的阻值、敏感柵的尺寸、覆蓋層 的影響及應(yīng)變計(jì)的時(shí)效老化處理工藝的影響等。

(8彈性體的時(shí)效熱處理工藝的影響。

四、結(jié)束語(yǔ)

本文只是根據(jù)多年的工作經(jīng)驗(yàn)和對(duì)傳感器的 認(rèn)識(shí)進(jìn)行一些總結(jié)，僅為和行內(nèi)同志一起學(xué)習(xí)和 探討，我們?cè)S多應(yīng)變計(jì)和傳感器業(yè)界前輩和專(zhuān)家 對(duì)此都有深入的研究和講解，各同行廠(chǎng)家對(duì)此都 有自己不同的認(rèn)識(shí)和做法，故不再盡述。影響稱(chēng) 重傳感器的蠕變誤差的實(shí)際因素是很多的，在制 作傳感器過(guò)程中，只有更多的重視傳感器現(xiàn)場(chǎng)制 造工藝的重要性，從生產(chǎn)作業(yè)流程中，多檢查試 驗(yàn)、多分析總結(jié)，并借助必要的工藝調(diào)整手段和 方法，才能更有效的控制稱(chēng)重傳感器的蠕變指標(biāo)。

由于水平有限，所述內(nèi)容難免缺點(diǎn)和錯(cuò)漏， 敬請(qǐng)業(yè)界前輩和專(zhuān)家給予指正。